主要特性

·  測(cè)量參數(shù)：R（直流電阻）、I（直流電流）、ps（表面電阻率），pv（體電阻率）。

·  測(cè)量范圍：電阻1*10³Ω 至 1x10¹⁵Ω；電流1pA至100uA。

·  測(cè)量速度：*快9.5ms的測(cè)量時(shí)間。

·  基本測(cè)量精度：2%。

·  4個(gè)通道，可用于多個(gè)被測(cè)件，4個(gè)通道可同時(shí)測(cè)試。

·  接觸檢查功能：可以檢測(cè)測(cè)試夾具與器件之間的接觸故障，2毫秒/點(diǎn)，保證可靠的測(cè)試

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